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噴金儀在封閉腔室中,放置陽(yáng)極靶材,充入氣體,保持一定的真空度,在陽(yáng)極和陰極之間加載高壓,會(huì )發(fā)生輝光放電現象。電離的氣體離子會(huì )轟擊、侵蝕陽(yáng)極靶材。靶材原子會(huì )因此向四周擴散,在磁力的束縛下在一定范圍內沉積,最終在樣品表面形成一個(gè)均勻的鍍層。這個(gè)鍍層可以抑制荷電,減小熱損傷,提高二次電子產(chǎn)率,從而改善掃描電鏡觀(guān)察效果。
在封閉腔室中,放置陽(yáng)極靶材,充入氣體,保持一定的真空度,在陽(yáng)極和陰極之間加載高壓,會(huì )發(fā)生輝光放電現象。電離的氣體離子會(huì )轟擊、侵蝕陽(yáng)極靶材。靶材原子會(huì )因此向四周擴散,在磁力的束縛下在一定范圍內沉積,最終在樣品表面形成一個(gè)均勻的鍍層。這個(gè)鍍層可以抑制荷電,減小熱損傷,提高二次電子產(chǎn)率,從而改善掃描電鏡觀(guān)察效果。
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